電子半導體廢水的種類和來源

電子半導體作為我國迅速發(fā)展的生產(chǎn)行業(yè)，半導體工業(yè)主要應用于電子機械制造業(yè)，當前半導體工業(yè)生產(chǎn)廢水主要有三種類型，即含氟廢水、含銅廢水和含氨廢水，由于其水質(zhì)復雜，污染物含量高，對環(huán)境造成的影響較大，加強半導體工業(yè)生產(chǎn)廢水處理是企業(yè)急需解決的環(huán)保難題。今天小編主要介紹電子半導體廢水的種類和來源。

1、電子半導體廢水的種類

由于半導體公司的產(chǎn)品不同，各公司生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水種類都不一樣，各公司對產(chǎn)生的廢水來源不一樣所進行的分類也不一樣。總的來水，半導體行業(yè)的廢水可以分為含氟廢水、含磷廢水、有機廢水、研磨廢水、氨氮廢水和酸堿廢水。

2、電子半導體廢水的來源

含氟廢水主要來源于來自于自芯片制造過程中的擴散工序及化學機械研磨工序，在對硅片及相關器皿的清洗過程中也多次用到氫氟酸。對粘膜、上呼吸道、眼睛、皮膚組織有極強的破壞作用。污染物主要為氟離子。含磷廢水主要來源于生產(chǎn)工程中的鋁刻蝕液。有機廢水，由于生產(chǎn)工藝的不同，有機溶劑的使用量對于半導體行業(yè)而言具有很大的差距。但是作為清洗劑，有機溶劑仍然普遍使用在制造封裝的各個環(huán)節(jié)上。部分溶劑則成為有機廢水排放，有機廢水主要來源于IPA溶劑、顯影液、TO刻蝕液、酸洗塔酸堿廢水、酸洗塔有機廢水。

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